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产品名称:平面驱动三自由度精密运动系统

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产品描述

系统以平面电机为核心,集成激光反馈子系统、线缆子系统、基台和隔振等子系统,实现多自由度紧凑化的结构设计,是IC制造装备、光学实验装备等领域中理想的工件承载系统。使用平面电机驱动,消除了传统的复杂层叠形式多自由度系统的诸多缺点,实现了一个电机提供三个方向的驱动,摒弃了以往底层电机承载上层电机机械结构的缺点,更加环保节能。使用平面电机驱动,消除了传统的复杂“一层背一层”的层叠形式,系统结构更加紧凑,从而实现真正的“Low-Profile”设计。